高纯度

下一代清洁

高纯度

高纯度

清洗半导体、光学和精密技术

原子层面的工业超精细清洁 - 具备可验证的过程安全性

高纯度清洁——细节决定成败。

在半导体、光学、医疗及精密技术领域,绝对的洁净度决定着性能与可靠性。

当复杂几何形状的部件需要达到 ≤0.5 μm 的颗粒清洁度及分子级别的无残留时,常规技术已无法满足需求:BvL 将工艺与材料专业知识与定制化设备技术相结合,根据您的需求量身打造清洁流程。在我们的技术实验室,清洁效果将在真实条件下进行验证。通过使用原装部件进行测试(包括在自有暗室中进行 UV-A 检测和颗粒物测量 PMC),可靠呈现清洁效果。

作为清洁服务提供商或制造商,BvL 的技术咨询及全球服务将全程陪伴,助力实现稳定可追溯的过程。

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重要优势一览:

高纯度——顶级清洁标准:

我们实现 ≤0.5 μm 的颗粒清洁度及分子级别的无残留。

可验证的过程安全性:

我们的流程具备可记录、可审计及可验证性,实现全流程追溯。

材料与几何形状专长:

我们采用超纯水 (UPW)、超声波和真空进行清洁;兼容钛、铝和 PEEK 等敏感材料——即使面对复杂几何形状亦游刃有余。

您的要求:

1 级清洁度——过程安全、可验证、无缝集成

  • 应对日益提升的颗粒和分子污染物清洁度要求——例如针对 1 级部件
  • 安全清洁复杂几何形状与精密微型组件
  • 可靠记录并重复可验证的过程
  • 集成至现有生产环境或洁净室
  • 去除残留有机物或残留水分,符合原子/分子级极限值要求
您的要求:
半导体行业:

清洗复杂超高真空 (UHV) 部件、极紫外 (EUV) 与深紫外 (DUV) 光刻组件、外壳、支架、晶圆处理系统

要求:
细至 0.5 µm 的超低颗粒数、H2O 与碳氢化合物的可控脱气量、低原子百分比范围的 HIO 元素

光学行业:

透镜、棱镜、滤光片、框架、光机组件的超精细清洁


目标:
涂装或装配前的无残留表面、敏感材料的超高洁净度

精密技术:

清洗微型组件、轴承、弹簧、传感器、具有精密公差的部件


重点:
在不影响材料的情况下安全去除加工残留物,例如冷却润滑剂、油污和颗粒

我们的解决方案:

可灵活配置的精密清洗设备

满足最高要求,具备可量化的洁净度与全项目周期的可靠支持。模块化结构系统可根据客户特定过程定制。应用范围涵盖无油无脂的预清洗到符合 1 至 4 级标准的合格最终清洗。

BvL 致力于开发出更高级别的工业超精细清洁——精准、可复现且契合应用。

可选工艺

真空脉冲技术 (VIT)
利用内爆力实现深层清洗:创新型压力变化工艺改善介质交换并提升污垢去除效果,特别适用于具有复杂几何形状、狭窄通道及盲孔的部件。VIT 工艺可集成至 Niagara 系列任何设备,未来也可集成至 Atlantic 浸没清洗设备。

超声波清洗
例如 40、80 和 132 kHz,多频系统,用于精密几何形状的具有调频清扫功能的超声波发生器。

喷淋/溢流清洗
通过特殊喷嘴框架和清洁室溢流(无级部分溢流、完全/真空溢流、循环溢流)实现全方位强力清洗。

浸没清洗
在多级设备系统不同清洗工艺彼此协调,组合使用。处理工艺及清洗池数量均可个性化定制。

干燥
真空干燥、带 HEPA 过滤器的对流/热风干燥、吹扫、红外线干燥——可单独或组合使用。

我们的设备:

按需灵活配置——完美匹配您的部件与工艺

NiagaraUp:

NiagaraUp: NiagaraUp:

搭载真空脉冲技术 (VIT) 的篮式清洁设备

NiagaraUP 将紧凑结构与高工艺深度相结合,实现最高级别的洁净度。所有工艺步骤均在一个腔室内进行,节省空间。

该设备系统最大限度避免残留与交叉污染,这主要通过电抛光表面、腔室圆角设计以及超纯水(UPW)腔室自清洁、快速残液排空等特殊过程实现。

工艺
关键的真空脉冲技术 (VIT) 能可靠清除毛细管结构、钻孔及空腔内的附着物。作为补充,喷淋/溢流工艺(无级部分溢流、完全/真空溢流和循环溢流)以及 HEPA 过滤的热风与真空干燥,将过程扩展为满足高纯度要求的完整解决方案。工艺支持个性化配置。

了解更多
Atlantic:

Atlantic: Atlantic:

Atlantic 浸没清洗设备

Atlantic 多腔浸没设备是高处理量下满足最高洁净度要求的理想内联式方案。

部件通过自动化门架转化器浸入依次排列、具有不同处理级别的清洗池中。清洗池数量可变。

工艺
涵盖浸没清洗、磷化、喷淋、注射清洗、超声波(可选)、冲洗、钝化处理以及可选的干燥。广泛的选择支持清洗流程的精准配置。

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共同优势:
  • 模块化设计:支持多罐和多腔室
  • 可自由配置的程序流程:所有清洗步骤的顺序、数量及组合均可完全自选
  • 过程参数全程可追溯:可记录、审计与验证
  • 安全集成至生产流程与洁净室
  • 采用具有低电导率与低 TOC 值的去离子水 (VE) 和超纯水 (UPW)
  • HEPA 过滤的对流与热风干燥、红外线干燥、真空干燥
  • 德国制造品质,高质量和耐用的材料,电抛光表面,V4A 质量不锈钢
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