High Purity

Очистка для полупроводников, оптики и прецизионной техники

Промышленная сверхтонкая очистка на атомном уровне — с подтверждаемой надёжностью процесса

Почему стоит выбрать High Purity Cleaning от BvL?

Когда деталям требуется абсолютная чистота — удаление частиц до 0,5 мкм и отсутствие молекулярных остатков — необходимы не только технологии, но и понимание материалов, процессов и требований.

Наш модульный погружной очистной комплекс Atlantic предлагает решение, точно адаптированное к вашим деталям, целям по чистоте и отраслевым стандартам — от Cleaning Grade 2 до Grade 1, например для очистки в условиях сверхвысокого вакуума (UHV).

Почему стоит выбрать High Purity Cleaning от BvL?

Промышленная сверхтонкая очистка на атомном уровне — с подтверждаемой надёжностью процесса

Ваши преимущества

High Purity Cleaning от BvL

Очистка ультрачистой водой (UPW), ультразвуком и вакуумом
Процессы с документированием для аудита и валидации
Совместимо с чувствительными материалами (например, титан, нержавеющая сталь, PEEK)
Испытательные циклы в техцентре BvL на ваших оригинальных деталях (включая УФ-А-контроль в собственном тёмном помещении + PMC)
Технические консультации и глобальный сервис для провайдеров чистых услуг (CSP)

Что волнует наших клиентов в проектах High Purity

В проектах с самыми высокими требованиями к чистоте мы постоянно сталкиваемся со схожими вопросами:

Как удовлетворить растущие требования к частикулярной и молекулярной чистоте — например, для деталей Grade 1?
Как безопасно очищать сложные геометрии и тонкие микроузлы?
Как надёжно документировать и воспроизводить валидируемые процессы?
Как интегрировать систему в существующие производственные среды или чистые помещения без потерь эффективности?

Наш ответ:

Тщательно продуманная, гибко конфигурируемая установка прецизионной очистки

Для наивысших требований в очистке полупроводников, оптики и прецизионных деталей — с измеряемой чистотой и надёжной поддержкой на всех этапах проекта.

Из практики

Наша многокамерная погружная установка Atlantic

Типовые области применения

Полупроводниковая промышленность:

Очистка сложных компонентов UHV, деталей для EUV- и DUV-литографии, корпусов, держателей, систем обращения с пластинами

Требования:
Чрезвычайно низкое количество частиц до 0,5 мкм, контролируемое десорбирование H₂O и углеводородов, элементы HIO в низких атомных процентах

Оптическая промышленность:

Тонкая очистка линз, призм, фильтров, оправ, оптомеханических узлов

Цель:
Безостаточные поверхности перед нанесением покрытий или сборкой; высочайшая чистота чувствительных материалов

Прецизионная техника:

Очистка микроузлов, подшипников, пружин, датчиков, компонентов с малыми допусками

Фокус:
Надёжное удаление следов обработки, таких как СОЖ, масла и частицы без воздействия на материал

Наше решение: погружная установка Atlantic

С Atlantic мы предлагаем высокоэффективную систему для промышленной High Purity очистки, которая впечатляет своей гибкостью, чистящими возможностями и стабильностью процесса:

Технические характеристики (выдержка):

Многоступенчатые процессы очистки с индивидуальным количеством моечных, ополаскивающих и сушильных станций
Ультразвуковая очистка (например, 40, 80 и 120 кГц; многочастотные системы; ультразвуковые генераторы с функцией sweep для тонкой геометрии)
Использование деионизированной и ультрачистой воды (UPW) с низкой проводимостью и значением TOC
Сушка горячим воздухом с HEPA-фильтрацией и вакуумная сушка
Движение изделий посредством колебаний и вращения
Полностью автоматический мониторинг процесса (например, проводимость, pH, уход за ваннами)
Совместима с разнообразными материалами: алюминий, титан, нержавеющая сталь, PEEK и др.
Свободно настраиваемый алгоритм программ для максимальной гибкости
Партионная, непрерывная документация параметров процесса

Результаты PMC и анализа остаточных газов (RGA):

Наша Atlantic уже сегодня соответствует отраслевым стандартам чистоты: Grade 1 по частицам и Grade 2 по молекулярным загрязнениям.

Наша многокамерная погружная установка Atlantic

Наши погружные системы очистки используются везде, где требуется высочайшая техническая чистота чувствительных деталей — от полупроводниковой отрасли и оптического производства до очистки прецизионных изделий.

VIT — технология вакуумного импульса

Инновационный процесс смены давления

Для деталей со сложной геометрией, узкими каналами или глухими отверстиями мы разрабатываем следующую ступень промышленной сверхтонкой очистки:

VIT (Vacuum Impulse Technik) — инновационный процесс смены давления для ещё лучшего обмена средой и эффекта удаления загрязнений.

Закажите консультацию или начните испытание прямо сейчас!

Свяжитесь с нами!

Мы найдём оптимальное решение для вашего High Purity применения

Хотите испытать детали, запросить предложение или узнать больше о нашей серии Atlantic?

JСвяжитесь без обязательств или запишитесь на консультацию: