High Purity

Reinigung für Halbleiter, Optik & Präzisionstechnik

Industrielle Feinstreinigung auf atomarer Ebene – mit validierbarer Prozesssicherheit

Warum High Purity Cleaning mit BvL?

Wenn Bauteile absolute Sauberkeit erfordern – partikulär bis 0,5 µm und rückstandsfrei auf molekularer Ebene – braucht es mehr als Technik: Verständnis für Materialien, Prozesse und Anforderungen.

Mit unserer modularen Tauchreinigungsanlage Atlantic bieten wir eine Lösung, die exakt auf Ihre Bauteile, Reinheitsziele und Branchenstandards zugeschnitten ist – von Cleaning Grade 2 bis Cleaning Grade 1 - beispielsweise für Reinigung Ultrahochvakuum (UHV).

Warum High Purity Cleaning mit BvL?

Industrielle Feinstreinigung auf atomarer Ebene für Halbleiter, Optik & Präzisionstechnik – mit validierbarer Prozesssicherheit

Ihre Vorteile

High Purity Cleaning mit BvL

Reinigung mit Reinstwasser (UPW), Ultraschall & Vakuum
Dokumentierbare Prozesse für Audits, & Validierung
Kompatibel mit sensiblen Materialien (z. B. Titan, Edelstahl, PEEK)
Testläufe im BvL-Technikum mit Ihren Originalbauteilen (inklusive UV-A-Untersuchung im eigenen Darkroom + PMC)
Technische Beratung & weltweiter Service für Clean Service Provider (CSP)

Was unsere Kunden in High Purity Projekten bewegt

In Projekten mit höchsten Reinheitsanforderungen begegnen uns immer wieder ähnliche Fragestellungen:

Wie erfüllen wir steigende Anforderungen an partikuläre und molekulare Sauberkeit – beispielsweise für Grade-1-Bauteile?
Wie reinigen wir sicher komplexe Geometrien und filigrane Mikrobaugruppen?
Wie lassen sich validierbare Prozesse zuverlässig dokumentieren und reproduzieren?
Wie gelingt die Integration in bestehende Produktionsumgebungen oder Reinräume – ohne Reibungsverluste?

Unsere Antwort:

Eine technisch durchdachte, flexibel konfigurierbare Präzisionsreinigungsanlage

Für höchste Anforderungen in der Halbleiter-Reinigung, Optikreinigung und Präzisionsteile-Reinigung – mit messbarer Sauberkeit und verlässlicher Unterstützung in allen Projektphasen.

Aus der Praxis

Was unsere Kunden in High Purity Projekten bewegt

Typische Anwendungsbereiche

Halbleiterindustrie:

Reinigung komplexer Ultrahochvakuum (UHV)-Bauteile, Komponenten für die EUV- und DUV-Lithographie, Gehäuse, Träger, Wafer-Handlingsysteme

Anforderungen:
Extrem geringe Partikelzahl bis 0,5 µm, kontrollierte Ausgasung von H2O und Kohlenwasserstoffen, HIO-Elemente in niedrigen atomaren Prozentbereichen

Optikindustrie:

Feinstreinigung von Linsen, Prismen, Filter, Fassungen, optomechanischen Baugruppen

Ziel:
Rückstandsfreie Oberflächen vor dem Beschichten oder Montieren, höchste Reinheit bei empfindlichen Materialien

Präzisionstechnik:

Reinigung von Mikrobaugruppen, Lagern, Federn, Sensoren, Komponenten mit engen Toleranzen

Fokus:
Sichere Entfernung von Bearbeitungsrückständen, wie Kühlschmierstoffen, Ölen, und Partikeln ohne Materialbeeinflussung

Unsere Lösung: Die Atlantic Tauchreinigungsanlage

Mit der Atlantic bieten wir ein leistungsstarkes System zur industriellen High Purity Reinigung, das durch seine Flexibilität, Sauberkeitsleistung und Prozessstabilität überzeugt:

Technische Merkmale (Auszug):

Mehrstufige Reinigungsprozesse mit individueller Anzahl an Reinigungs-, Spül- und Trocknungsstationen
Ultraschallreinigung (z.B. 40, 80 und 120 kHz, Multi-Frequenz-Systeme, Ultraschallgeneratoren mit Sweep-Funktion für filigrane Geometrien)
Einsatz von VE- und Reinstwasser (UPW) mit niedrigem Leitwert und TOC-Wert
HEPA-gefilterte Heißluft- und Vakuumtrocknung
Warenbewegung durch Oszillieren und Rotation
Vollautomatische Prozessüberwachung (z. B. Leitwert, pH-Wert, Badpflege)
Kompatibel mit unterschiedlichsten Werkstoffen: Aluminium, Titan, Edelstahl, PEEK u.v.m.
Frei einstellbarer Programmablauf für maximale Flexibilität
Chargenbezogene, lückenlose Dokumentation von Prozessparametern

Ergebnisse aus der PMC und Restgasanalyse (RGA):

Unsere Atlantic erfüllt bereits heute branchenübliche Reinheitsstandards bzgl. Partikel auf Grade 1 und bezüglich molekularer Verunreinigungen auf Grade 2 Niveau.

Unsere Mehrkammer-Tauchanlage Atlantic

Unsere Tauchreinigungsanlagen kommen überall dort zum Einsatz, wo höchste technische Sauberkeit auf sensiblen Bauteilen gefragt ist – von der Halbleiterindustrie über die Optikfertigung bis zur Präzisionsteile-Reinigung.

VIT – Vakuum Impuls Technik

Ein innovatives Druckwechselverfahren

Für Bauteile mit komplexen Geometrien, engen Kanälen oder Sacklochbohrungen entwickeln wir die nächste Stufe industrieller Feinstreinigung:

VIT (Vakuum Impuls Technik) – ein innovatives Druckwechselverfahren für noch besseren Medienaustausch und Schmutzlöseeffekt.

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