High Purity

Next level cleaning

High Purity

Reiniging voor halfgeleiders, optica & precisietechniek

Industriële precisiereiniging tot op atomair niveau – met valideerbare proceszekerheid

High Purity-reiniging – omdat elk detail telt.

In de halfgeleiderindustrie, optica, medische technologie en precisietechniek zijn absolute reinheid, prestaties en betrouwbaarheid nauw met elkaar verbonden. Wanneer onderdelen met complexe geometrieën tot 0,5 μm deeltjesreinheid en residuvrij op moleculair niveau moeten worden gereinigd, is meer nodig dan standaardtechniek. Bij BvL combineren we proces- en materiaalkennis met reinigingstechniek op maat en stemmen we het reinigingsproces exact af op uw reinheidseisen.

In ons technologiecentrum worden de resultaten onder realistische omstandigheden getest. Reinigingsproeven met uw originele onderdelen – inclusief UV-A-inspectie in onze eigen darkroom en deeltjesmeting (PMC) – maken de behaalde reinigingsprestaties betrouwbaar inzichtelijk.

Onze technische adviseurs en de wereldwijde service van BvL ondersteunen zowel Clean Service Providers als producenten bij het realiseren van stabiele en aantoonbare reinigingsprocessen.

High Purity-informatiepakket aanvragen

Uw belangrijkste voordelen in één oogopslag:

High Purity – reinheid op het hoogste niveau::

Wij realiseren onderdeelreinheid tot 0,5 μm en residuvrije oppervlakken op moleculair niveau.

Aantoonbare proceszekerheid:

Onze processen zijn documenteerbaar, audit- en validatiegeschikt – met volledige traceerbaarheid.

Expertise in materialen en complexe geometrieën:

Wij reinigen met ultrapuur water (UPW), ultrasoontechniek en vacuüm. Ook gevoelige materialen zoals titanium, aluminium en PEEK en onderdelen met complexe geometrieën kunnen betrouwbaar worden gereinigd.

Uw eisen:

Reinheid tot Grade 1 – proceszeker, valideerbaar en naadloos te integreren

Hoge eisen aan deeltjesreinheid en moleculaire reinheid – bijvoorbeeld voor Grade 1-onderdelen
Complexe geometrieën en fijngevoelige micro-assemblages betrouwbaar reinigen
Valideerbare processen betrouwbaar documenteren en reproduceren
Integratie in bestaande productieomgevingen of cleanrooms
Verwijderen van organische resten en restvocht en voldoen aan atomaire en moleculaire grenswaarden

Halfgeleiderindustrie:

Reiniging van complexe ultrahoogvacuümcomponenten (UHV), onderdelen voor EUV- en DUV-lithografie, behuizingen, dragers en wafer-handlingsystemen

Eisen:
Extreem lage deeltjesbelasting tot 0,5 µm, gecontroleerde uitgassing van H₂O en koolwaterstoffen en HIO-elementen in lage atomaire percentages

Optische industrie:

Precisiereiniging van lenzen, prisma's, filters, houders en optomechanische assemblages

Doel:
Residuvrije oppervlakken vóór coaten of monteren en een zeer hoge reinheid bij gevoelige materialen

Precisietechniek:

Reiniging van micro-assemblages, lagers, veren, sensoren en componenten met nauwe toleranties

Focus:
Betrouwbare verwijdering van bewerkingsresten zoals koel- en smeermiddelen, oliën en deeltjes, zonder het materiaal aan te tasten

Onze oplossing:

Flexibel configureerbare installaties voor precisiereiniging

Voor de hoogste reinheidseisen, met meetbare resultaten en betrouwbare ondersteuning in alle projectfasen. Dankzij de modulaire opbouw kunnen de systemen exact worden afgestemd op uw specifieke proces. Het toepassingsgebied loopt van olie- en vetvrije voorreiniging tot gekwalificeerde eindreiniging volgens Grade 1–4.

Bij BvL ontwikkelen we industriële precisiereiniging naar een hoger niveau – nauwkeurig, reproduceerbaar en afgestemd op uw toepassing.

Mogelijke reinigingstechnieken

Vakuum-Impulse-Techniek (VIT)
Dieptereiniging door implosiekracht: een drukwisselproces dat de uitwisseling van het reinigingsmedium verbetert en verontreinigingen effectief losmaakt. Ideaal voor onderdelen met complexe geometrieën, nauwe kanalen en blinde boringen. VIT kan worden geïntegreerd in de installaties van de Niagara-serie en in de Atlantic dompelreinigingsinstallatie.

Ultrasoon reinigen
Bijvoorbeeld 40, 80 en 132 kHz, multifrequentiesystemen en ultrasoongeneratoren met sweepfunctie voor fijngevoelige en complexe geometrieën.

Sproei- en vloedreiniging
Krachtige reiniging rondom met speciale sproeiersystemen en het vullen van de reinigingskamer, van traploos gedeeltelijk vullen tot volledig vullen, vacuümvullen en circulatievullen.

Dompelreiniging
Een optimaal afgestemde combinatie van verschillende reinigingstechnieken in een meertraps reinigingssysteem. Zowel de processtappen als het aantal baden kunnen individueel worden aangepast.

Drogen
Vacuümdrogen, circulatie- en heteluchtdrogen met HEPA-filter, afblazen en infrarooddrogen – afzonderlijk of in combinatie toepasbaar.

Onze reinigingsinstallaties:

Configureerbaar naar behoefte – afgestemd op uw onderdeel en proces:

NiagaraUp:

Korfwasinstallatie met Vakuum-Impulse-Techniek (VIT)

De NiagaraUP combineert een compact ontwerp met uitgebreide procesmogelijkheden voor reinheid op het hoogste niveau. Alle processtappen worden ruimtebesparend in één kamer uitgevoerd.

Het installatiesysteem minimaliseert recontaminatie en kruiscontaminatie. Dit wordt onder andere bereikt door elektrolytisch gepolijste oppervlakken, een afgerond ontwerp van de reinigingskamer en speciale procesfuncties zoals automatische kamerreiniging met ultrapuur water (UPW) en snelle volledige lediging.

Reinigingstechnieken
Centraal staat de Vakuum-Impulse-Techniek (VIT), waarmee verontreinigingen zelfs in capillairen, boringen en holle ruimtes betrouwbaar worden losgemaakt. Aanvullend kunnen sproei- en vloedreiniging – met traploos gedeeltelijk vullen, volledig vullen, vacuümvullen en circulatievullen – en HEPA-gefilterde hetelucht- en vacuümdroging worden toegepast. Zo ontstaat een complete oplossing voor High Purity-reiniging. De verschillende technieken kunnen individueel worden geconfigureerd.

Meer informatie

Atlantic:

Atlantic dompelreinigingsinstallatie

De Atlantic meerkamer-dompelreinigingsinstallatie is een optimale inline-oplossing voor de hoogste reinheidseisen en hoge doorvoercapaciteiten.

De onderdelen worden met een geautomatiseerd portaalsysteem door achter elkaar geplaatste baden met verschillende processtappen geleid. Het aantal baden kan individueel worden afgestemd op het proces.

Reinigingstechnieken
Mogelijke technieken zijn dompelreiniging, Vakuum-Impulse-Techniek (VIT), fosfateren, sproeireinigen, injectiereinigen, ultrasoon reinigen (optioneel), spoelen, passiveren en optioneel drogen. Hierdoor kan het reinigingsproces gericht op de toepassing worden geconfigureerd.

Meer informatie

Gemeenschappelijke sterke punten:

Modulair concept: meerdere tanks en kamers mogelijk
Vrij configureerbaar procesverloop: volgorde, aantal en combinatie van de reinigingsstappen kunnen volledig op het proces worden afgestemd
Volledige traceerbaarheid van procesparameters: documenteerbaar, audit- en validatiegeschikt
Veilige integratie in productieprocessen en cleanrooms
Gebruik van demiwater en ultrapuur water (UPW) met een lage geleidbaarheid en lage TOC-waarde
HEPA-gefilterde circulatie- en heteluchtdroging, infrarooddroging en vacuümdroging
Hoogwaardige installatiekwaliteit – Made in Germany – met duurzame materialen, elektrolytisch gepolijste oppervlakken en hoogwaardig RVS

Wij staan voor u klaar!

Neem nu contact op!

+49 (0) 5903 951-150 support@bvl-group.de