High Purity

Nettoyage pour l’industrie des semi-conducteurs, de l’optique et de la mécanique de précision

Nettoyage industriel ultra-fin à l’échelle atomique – avec sécurité de procédé validable

Pourquoi choisir le High Purity Cleaning avec BvL ?

Lorsque les composants exigent une propreté absolue – particulaire jusqu’à 0,5 µm et sans résidus au niveau moléculaire – il faut plus que de la technique : une compréhension des matériaux, des procédés et des exigences.

Avec notre installation de nettoyage par immersion modulaire Atlantic, nous proposons une solution parfaitement adaptée à vos composants, objectifs de propreté et normes sectorielles – du Cleaning Grade 2 au Grade 1, par exemple pour le nettoyage en ultravide (UHV).

Pourquoi choisir le High Purity Cleaning avec BvL ?

Nettoyage industriel ultra-fin à l’échelle atomique – avec sécurité de procédé validable

Vos avantages

High Purity Cleaning avec BvL

Nettoyage à l’eau ultrapure (UPW), aux ultrasons & sous vide
Procédés documentables pour audits & validation
Compatible avec des matériaux sensibles (p. ex. titane, acier inoxydable, PEEK)
Essais dans le centre technique BvL avec vos pièces d’origine (inspection UV-A intégrée dans notre darkroom + PMC)
Conseil technique & service mondial pour Clean Service Provider (CSP)

Ce qui motive nos clients dans les projets High Purity

Dans les projets aux exigences de pureté les plus élevées, nous rencontrons toujours des questions similaires :

Comment répondre aux exigences croissantes en matière de propreté particulaire et moléculaire – par exemple pour des pièces Grade 1 ?
Comment nettoyer en toute sécurité des géométries complexes et des micro-assemblages délicats ?
Comment documenter et reproduire de manière fiable des procédés validables ?
Comment réussir l’intégration dans des environnements de production ou des salles blanches existants – sans friction ?

Notre réponse :

Une installation de nettoyage de précision techniquement réfléchie et configurable avec flexibilité

Pour les exigences les plus élevées dans le nettoyage des semi-conducteurs, de l’optique et des pièces de précision – avec une propreté mesurable et un support fiable à toutes les étapes du projet.

De la pratique

Notre installation d’immersion multi-cuves Atlantic

Domaines d’application typiques

Industrie des semi-conducteurs :

Nettoyage de composants UHV complexes, de pièces pour la lithographie EUV et DUV, carters, porte-pièces, systèmes de manutention de wafers

Exigences :
Nombre de particules extrêmement faible jusqu’à 0,5 µm, dégazage contrôlé de H₂O et d’hydrocarbures, éléments HIO à de faibles pourcentages atomiques

Industrie optique :

Nettoyage ultra-fin de lentilles, prismes, filtres, montures, ensembles optomécaniques

Objectif :
Surfaces sans résidus avant revêtement ou assemblage ; pureté maximale pour les matériaux sensibles

Technique de précision :

Nettoyage de micro-assemblages, roulements, ressorts, capteurs, composants à tolérances serrées

Focus :
Élimination sûre des résidus d’usinage tels que lubrifiants, huiles et particules sans altérer le matériau

Notre solution : l’installation de nettoyage par immersion Atlantic

Avec Atlantic, nous proposons un système haute performance pour le nettoyage High Purity industriel, convaincant par sa flexibilité, sa performance de propreté et sa stabilité de procédé :

Caractéristiques techniques (extrait) :

Processus de nettoyage en plusieurs étapes avec nombre individuel de stations de lavage, de rinçage et de séchage
Nettoyage ultrasons (p. ex. 40, 80 et 120 kHz, systèmes multi-fréquences, générateurs ultrasons avec fonction Sweep pour géométries délicates)
Utilisation d’eau déionisée et d’eau ultrapure (UPW) à faible conductivité et faible TOC
Séchage à air chaud filtré HEPA et sous vide
Mouvement des pièces par oscillation et rotation
Surveillance de procédé entièrement automatique (p. ex. conductivité, pH, maintenance du bain)
Compatible avec une grande variété de matériaux : aluminium, titane, acier inoxydable, PEEK, etc.
Séquence de programme librement paramétrable pour une flexibilité maximale
Documentation sans lacune des paramètres de procédé par lot

Résultats PMC et analyse des gaz résiduels (RGA) :

Notre Atlantic satisfait déjà les normes de propreté industrielles habituelles – Grade 1 pour les particules et Grade 2 pour les contaminants moléculaires.

Notre installation d’immersion multi-cuves Atlantic

Nos installations de nettoyage par immersion sont utilisées partout où la plus haute propreté technique est requise sur des composants sensibles – de l’industrie des semi-conducteurs à la fabrication optique jusqu’au nettoyage des pièces de précision.

VIT – Technologie d’impulsions de vide

Un procédé innovant de changement de pression

Pour les pièces aux géométries complexes, canaux étroits ou trous borgnes, nous développons la prochaine étape du nettoyage industriel ultra-fin :

VIT (Vacuum Impulse Technology) – un procédé innovant de changement de pression pour un échange de média et un effet de détachement des salissures encore meilleurs.

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