NiagaraUP

Idéal pour les utilisations en salles blanches grâce à la technologie TIV

L’installation NiagaraUP convient idéalement pour les applications dans les secteurs des semi-conducteurs, des pièces optiques, des technologies médicales et des technologies de précision – partout où une propreté extrême est requise dans un espace extrêmement réduit. Celle-ci est dotée de la technologie novatrice «Technologie d’impulsions de vide (TIV)» de BvL et satisfait ainsi aux exigences les plus élevées des échelles particulaire, moléculaire, des films et atomique. Toutes les étapes du processus se déroulent dans une chambre, rendant celui-ci peu encombrant. Ces installations sont disponibles dans différentes dimensions et configurations et peuvent être intégrées sans aucun souci aux salles blanches.

High Purity

Next level cleaning

Installation de base

Nettoyage par pulvérisation :	système de réception rotatif ou pivotant avec adaptation personnalisée des buses et du cadre à buses
Nettoyage par immersion :	immersion partielle réglable en continu, immersion totale / remplissage sous vide, immersion par circulation
Ultrasons :	p. ex. 40, 80 et 132 kHz, systèmes multi-fréquences, générateurs d’ultrasons avec fonction sweep pour les géométries filigranes
Technologie d’impulsions de vide (TIV) :	nettoyage en profondeur spécial pour les pièces aux géométries complexes
CleanDesign:	Surfaces électropolies et chambre au design arrondi permettant d’éviter les zones de contamination
Mesures assurant une gestion sûre des processus:	Nettoyage automatique de la chambre à l’eau ultra-pure, vidange complète rapide et autres mesures permettant d’éviter les contaminations croisées
Principe de fonctionnement:	Système rotatif à « roue allemande » pour un nettoyage de toutes les faces des pièces
Nombre de réservoirs:	Modulaire avec des systèmes à un ou plusieurs réservoirs
Efficacité énergétique:	Isolation et commande intelligente
Chargement:	Chargement frontal via un dispositif de réception sur roulettes
Carter:	Design moderne en acier inoxydable de qualité – Face avant avec finition de qualité (en option)
Composants en contact avec le fluide:	Conformes aux exigences des salles blanches, sans éléments HIO
Filtre à air pour l’aération de la chambre et le séchage:	Filtre HEPA H 13
Commande et utilisation:	Siemens Simatic avec écran tactile Siemens moderne, simple d’utilisation
Clean Design
Mesures assurant une gestion sûre des processus
Composants en contact avec le fluide
Filtre à air pour l’aération de la chambre et le séchage

Nouvelle installation chez BvL - NiagaraUP

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Technologique jusque dans les détails

Données techniques

Exemple d’installation: NiagaraUP 600

Longueur utile	mm	670
Largeur utile	mm	480
Hauteur utile	mm	300
Hauteur d’alimentation	mm	925
Capacité de chargement / Charge	kg	150
Contenance par réservoir (I / II)	litres	620

Autres caractéristiques techniques et prestations à fournir sur site sur demande

Étapes de processus

Le nettoyage a lieu dans une chambre et peut être configurée à plusieurs niveaux:

Nettoyage par pulvérisation
Nettoyage par immersion (immersion partielle réglable en continu, immersion totale / remplissage sous vide, immersion par circulation)
Nettoyage par ultrasons (systèmes mono- ou multi-fréquences)
Technologie d’impulsions de vide novatrice de BvL (nettoyage en profondeur pour les structures capillaires, orifices et canaux intérieurs)
Nettoyage efficace de la chambre au moyen d’eau ultrapure (UPW) entre les étapes de traitement
Filtration permanente
Vidange complète rapide
Procédés de séchage – en alternance ou combinés: séchage par circulation d’air, à l’air chaud avec filtre HEPA H13, infrarouge ou sous vide

Options et compléments

Option «Salles blanches»
Autres réservoirs et chambres
Systèmes de refroidissement et démagnétisation
Impressions de configuration sur mesure

Domaines d’application et avantages

Exigences de propreté très élevées: niveaux 4 à 1
Format compact pour une installation peu encombrante
Intégration possible dans les salles blanches
Système d’installations avancé permettant d’éviter les rétro-contaminations et contaminations croisées
Technologie novatrice: technologie d’impulsions de vide (TIV)
Modularité: extension des réservoirs et chambres de nettoyage possible
Déroulement personnalisé des programmes:
tant au niveau de l’ordre des étapes du processus qu’au niveau des durées et des paramètres
Utilisation flexible: comme système de prélavage ou de post-lavage
Maintenance aisée: accessibilité aisée aux réservoirs et composants