NiagaraUP

适用于洁净室的 VIT 技术

NiagaraUP 是半导体、光学、医疗和精密技术等高洁净度、小空间需求应用的理想选择。其配备 BvL 创新真空脉冲技术 (VIT)，可满足颗粒、分子、膜状及原子级别的最高洁净要求。所有工艺步骤均在一个腔室内进行，节省空间。该设备系统提供不同尺寸和配置，并能轻松集成至洁净室。

高纯度

下一代清洁

基本设备

喷淋清洗：	旋转或摆动式夹具，喷嘴及喷嘴架可个性化调整
溢流清洗：	无级部分溢流、完全/真空溢流、循环溢流
超声波:	例如 40、80 和 132 kHz，多频系统，用于精密几何形状的具有调频清扫功能的超声波发生器
真空脉冲技术 (VIT)：	针对复杂部件几何形状的精准深层清洁
洁净设计	电抛光表面与圆角腔室设计，避免污染死角
确保安全流程管理的措施:	自动超纯水腔室清洁、快速残液排空及其他措施避免交叉污染
作用原理:	旋转轮系统实现全方位清洗
罐数目:	模块化设计支持单罐/多罐系统
能效:	隔热和智能控制
装载:	通过滚筒引导的夹具前部装载
外壳:	优质不锈钢现代设计——前表面可选高级处理饰面（可选）
介质接触组件:	符合洁净室标准，无 HIO 元素
腔室通风和干燥的空气过滤器:	HEPA H 13 过滤器
控制和操作:	西门子 Simatic，配有直观易用的西门子触摸屏
Clean Design
确保安全流程管理的措施
介质接触组件
腔室通风和干燥的空气过滤器