NiagaraUP

Equipo apto para sala blancas con tecnología VIT

El equipo NiagaraUP es perfecto para las aplicaciones de la industria de semiconductores, óptica, médica y tecnología de precisión, es decir, allá donde se requiere la máxima pureza en el menor espacio posible. Está equipado con la innovadora Tecnología de Impulso de Vacío (VIT) de BvL y cumple los requisitos más altos en cuanto a nivel particulado, molecular, fílmico y atómico. Todas las etapas del proceso se realizan en una cámara. El equipo está disponible en distintos tamaños y configuraciones y se integra sin problemas en salas blancas.

High Purity

Next level cleaning

Equipo básico

Limpieza por pulverización:	sistema de alojamiento rotativo o basculante con adaptación individual de boquillas y marcos de boquillas
Limpieza por inundación:	parcial continua, total/vacío y por recirculación
Ultrasonido:	por ejemplo 40, 80 y 132 kHz, sistemas multifrecuencia y generadores de ultrasonidos con función de barrido para geometrías delicadas
Tecnología de Impulso de Vacío (VIT):	limpieza profunda específica para componentes con geometría compleja
CleanDesign:	superficies electropulidas y diseño redondeado de la cámara para evitar zonas de contaminación
Medidas para una gestión segura del proceso:	limpieza automática de la cámara con agua ultrapura, vaciado rápido sin residuos y otras medidas para evitar la contaminación cruzada
Principio de funcionamiento:	sistema Rhönrad rotativo para una limpieza integral
Cantidad de tanques:	modular con sistemas de uno o varios tanques
Eficacia energética:	aislamiento y control inteligente
Alimentación:	carga frontal mediante un dispositivo de recepción guiado por rodillos
Carcasa:	diseño moderno de acero inoxidable de alta calidad, con acabado superficial refinado en el frontal (opcional)
Componentes en contacto con el medio:	aptos para salas blancas y sin sustancias HIO
Filtro de aire para la ventilación de la cámara y el secado:	Filtro HEPA H13
Control y operación:	Siemens Simatic con panel táctil Siemens moderno y de uso sencillo
Clean Design
Medidas para una gestión segura del proceso
Componentes en contacto con el medio
Filtro de aire para la ventilación de la cámara y el secado

Nueva instalación en BvL - NiagaraUP

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La tecnología en detalle

Datos técnicos

Ejemplo de NiagaraUP 600

Longitud útil	mm	670
Ancho útil	mm	480
Altura útil	mm	300
Altura de alimentación	mm	925
Capacidad de carga / lote	kg	150
Capacidad de cada tanque (I / II)	litro	620

Otros datos técnicos e instalaciones necesarias in situ a petición

Etapas del proceso

La limpieza se realiza en una sola cámara y se configura en varias etapas según sea necesario:

Proceso por pulverización
Proceso por inundación (parcial continua, total/vacío y por recirculación)
Limpieza por ultrasonido (sistemas de una o varias frecuencias)
Innovadora Tecnología de Impulso de Vacío de BvL (limpieza profunda para estructuras capilares, taladros y canales internos)
Limpieza eficiente de la cámara con agua ultrapura (UPW) entre etapas de tratamiento
Filtración permanente
Vaciado rápido sin residuos
Métodos de secado, alternativos o combinables: secado por circulación, aire caliente con filtro HEPA H13, infrarrojos y vacío

Opciones y suplementos

Opción para salas blancas
Más tanques y cámaras
Diversos sistemas de manipulación y automatización
Sistemas de refrigeración y desmagnetización

Ámbitos de aplicación y ventajas

Requisitos de pureza muy altos: Grado 4 a 1
Diseño compacto para una instalación que ocupa muy poco espacio
Integración en salas blancas
Sistema avanzado para evitar recontaminación y contaminación cruzada
Procedimiento innovador: Tecnología de Impulso de Vacío (VIT)
Modular: posible ampliación de tanques y cámaras de limpieza
Secuencias de programa seleccionables de forma individual:
tanto el orden de las etapas del proceso como la selección de los tiempos y parámetros
Uso flexible: como prelavado o lavado final
Fácil mantenimiento: buena accesibilidad a tanques y componentes