NiagaraUP
Reinraumtauglich mit VIT-Technologie
Die NiagaraUP ist ideal für Anwendungen in der Halbleiter-, Optik-, Medizin- und Präzisionstechnik – überall dort, wo höchste Sauberkeit auf minimalem Raum gefragt ist. Sie ist mit der innovativen Vakuum Impuls Technik (VIT) von BvL ausgestattet und erfüllt damit höchste Anforderungen auf partikulärer, molekularer, filmischer und atomarer Ebene. Alle Prozessschritte erfolgen platzsparend in einer Kammer. Das Anlagensystem ist in verschiedenen Größen und Konfigurationen erhältlich und lässt sich problemlos in Reinräume integrieren.
Grundanlage
| Reinigungssystem: | Spritzreinigung: rotierendes oder schwenkendes Aufnahmesystem mit individueller Anpassung der Düsen und Düsenrahmen Flutreinigung: stufenloses Teilfluten, Voll-/Vakuumfluten, Umwälzfluten Ultraschall: z. B. 40, 80 und 132 kHz, Multi-Frequenz-Systeme, Ultraschallgeneratoren mit Sweep-Funktion für filigrane Geometrien Vakuum Impuls Technik (VIT): spezielle Tiefenreinigung für komplexe Bauteilgeometrien |
| CleanDesign | elektropolierte Oberflächen und abgerundetes Kammerdesign zur Vermeidung von Kontaminationsbereichen |
| Maßnahmen für sichere Prozessführung | automatische Kammerreinigung mit Reinstwasser, schnelle Restlosentleerung und weitere Maßnahmen zur Vermeidung von Cross-Kontaminationen |
| Funktionsprinzip | rotierendes Rhönradystem für allseitige Reinigung |
| Anzahl Tanks | modular mit Ein- und Mehrtank-Systemen |
| Energieeffizienz | Isolierung und intelligente Steuerung |
| Beschickung | Frontbeschickung über eine rollengeführte Aufnahmevorrichtung |
| Gehäuse | modernes Design aus hochwertigem Edelstahl – vordere Front mit veredeltem Oberflächen-Finishing (optional) |
| Medienführende Komponenten | Reinraumkonform ohne HIO-Elemente |
| Luftfilter zur Kammerbelüftung und Trocknung | HEPA H 13 Filter |
| Steuerung und Bedienung | Siemens Simatic mit modernem und einfach bedienbarem Siemens Touchpanel |
Einsatzbereiche und Vorteile
- Sehr hohe Sauberkeitsanforderungen: Grade 4 bis 1
- Kompakte Bauweise für eine platzsparende Installation
- Reinraum-Integration möglich
- Fortschrittliches Anlagensystem zur Vermeidung von Rückkontaminationen und Cross-Kontaminationen
- Innovatives Verfahren: Vakuum Impuls Technik (VIT)
- Modular: Erweiterung der Tanks und Reinigungskammern möglich
- Individuell wählbare Programmabläufe:
sowohl Reihenfolge der Prozesschritte als auch Auswahl der Zeiten und Parameter - Flexibler Einsatz: als Vor- oder Endwäscher
- Wartungsfreundlich:
gute Zugänglichkeit der Tanks und Komponenten
Die Technik im Detail
Prozessschritte
Die Reinigung erfolgt in einer Kammer und ist individuell mehrstufig konfigurierbar:
- Spritzverfahren
- Flutverfahren (stufenloses Teilfluten, Voll-/Vakuumfluten, Umwälzfluten)
- Ultraschallreinigung (Ein- oder Multifrequenzsysteme)
- Innovative BvL Vakuum Impuls Technik (Tiefenreinigung für kapillare Bauteilstrukturen, Bohrungen und Innenkanäle)
- Effiziente Kammerreinigung mit UPW-Wasser (Reinstwasser) zwischen den Behandlungsschritten
- Permanente Filtration
- Schnelle Restlosentleerung
- Trocknungsverfahren – alternativ oder kombinierbar:
Umluft-, Heißluft- mit HEPA H13 Filter, Infrarot-, Vakuumtrocknung
Optionen und Ergänzungen
- Reinraumoption
- Weitere Tanks und Kammern
- Verschiedene Handlings- und Automationssysteme
- Kühl- und Entmagnetisiersysteme
