Präzise Reinigung für höchste Sauberkeitsanforderungen

in der High-Purity-Produktion

In der High-Purity-Produktion, wie etwa in der Halbleiterzulieferindustrie gelten außergewöhnlich hohe Anforderungen an die partikuläre, filmische und molekulare Sauberkeit von Bauteilen. Je komplexer die Geometrien und je kleiner die Strukturen, desto anspruchsvoller wird die Reinigung und Kontrolle der Oberflächen.

 

Am Beispiel von Vakuumkomponenten wird deutlich, wie streng die Restschmutzvorgaben sind. In der höchsten Sauberkeitsklasse sind pro Quadratmeter Bauteiloberfläche maximal zwei Millionen Partikel mit einer Größe bis zu 0,5 µm, 20.000 Partikel bis 5 µm und höchstens 1.000 Partikel bis 10 µm zulässig. Solche Reinheitsniveaus lassen sich nur erreichen, wenn alle Prozessschritte – von der Materialauswahl über die Fertigung bis zum Handling – auf Sauberkeit ausgerichtet sind. Nur wenn der gesamte Herstellungsprozess unter sauberen Bedingungen erfolgt, lässt sich eine Kontamination bzw. Rekontamination vermeiden. Häufig sind mehrere Reinigungsschritte entlang der Fertigungskette erforderlich.

 

Die Norm ISO 14644-1 definiert verschiedene Reinraumklassen mit spezifischen Grenzwerten für die Partikeldichte in der Luft. Vergleicht man diese Werte mit den Anforderungen in der High-Purity-Produktion, zeigt sich: Insbesondere im Hinblick auf Partikelgrößen von 1,0 µm und 5,0 µm sollte die Weiterverarbeitung idealerweise in einem Reinraum der ISO-Klasse 6 oder besser noch ISO-Klasse 5 erfolgen, um eine Rekontamination zuverlässig auszuschließen. Doch auch außerhalb klassischer Reinräume steigen die Sauberkeitsanforderungen stetig – überall dort, wo kleinste Partikel die Produktqualität beeinflussen können.

 

Reinigung als Schlüsselprozess für stabile Sauberkeit

In der Theorie sind die Anforderungen an partikuläre und molekulare Reinheit klar definiert, doch in der Praxis stellen sich zentrale Fragen:
Wie lässt sich ein derart hohes Sauberkeitsniveau bei Bauteilen überhaupt erreichen? Welche Reinigungsverfahren sind dafür geeignet?
Und wie können die gereinigten Komponenten anschließend prozesssicher weiterverarbeitet werden, ohne dass eine erneute Kontamination erfolgt?

Die Antwort liegt in präzise abgestimmten, stabilen und validierbaren Reinigungsprozessen, die optimal auf die jeweilige Anwendung zugeschnitten sind. Diese Umsetzung erfordert tiefgehendes Know-How und langjährige Erfahrung in der industriellen Teilereinigung sowie ein Verständnis der gesamte Prozesskette.  

Als erfahrener Partner entwickelt BvL zukunftsorientierte Reinigungslösungen, die sich an den steigenden Reinheitsanforderungen der High Purity Produktion orientieren und nahtlos in die individuellen Produktionsbedingungen integrieren lassen. Mit einem umfassenden Spektrum an Verfahren der wässrigen Reinigung bietet das Unternehmen Lösungen, die individuell konzipiert und miteinander kombiniert werden können.

 

Flexibel konfigurierbare Präzisionsreinigungsanlagen

Die BvL Tauchreinigungsanlage Atlantic und die neue Kammerreinigungsanlage NiagaraUP stehen exemplarisch für diesen Ansatz. Dank ihres modularen Aufbaus und der flexibel kombinierbaren Verfahrenstechnologie können Sie je nach Anwendungsfall als Vorreinigung, Fein- oder Endreinigung eingesetzt und nahtlos in bestehende Produktionslinien oder Reinraumprozesse integriert werden. 

Die neue NiagaraUP wurde speziell für Anwendungen entwickelt, die höchste Reinheitsanforderungen stellen. Herzstück der Anlage ist die Vakuum-Impuls-Technologie (VIT), die durch gezielte Druckwechsel den Medienaustausch intensiviert. Dadurch werden selbst Anhaftungen in schwer zugänglichen Bereichen wie Kapillaren, Bohrungen und Hohlräumen zuverlässig entfernt. Ergänzend kommen Spritz-, Flut- und Ultraschallreinigung zum Einsatz, deren Prozessschritte individuell konfiguriert werden können. Zusätzliche Tanks und Kammern können bei Bedarf integriert werden, um den Reinigungsprozess exakt auf den jeweiligen Anwendungsfall abzustimmen.

Besondere konstruktive Merkmale der NiagaraUP minimieren das Risiko von Rück- und Cross-Kontaminationen. Dazu gehören elektropolierte Oberflächen, abgerundete Kammer-Geometrien, eine schnelle Restlosentleerung und die Möglichkeit einer automatischen Kammerreinigung mit Reinstwasser (UPW). Auch die medienführenden Komponenten sind reinraumkonform gestaltet und werden ohne HIO-Elemente ausgeführt. Damit erfüllt die NiagaraUP höchste Sauberkeitsanforderungen von Grade 4 bis 1, gewährleistet eine sichere, reproduzierbare Prozessführung und ist für den Einsatz in Reinraumumgebungen bestens geeignet. 

Die Tauchreinigungsanlage AtlanticTR arbeitet mit mehreren hintereinander angeordneten Becken, in denen die Bauteile durch einen automatisierten Portalumsetzer präzise bewegt werden. Je nach Anwendungsfall umfasst der Prozess mehrere Behandlungsstufen – etwa Tauchreinigen, Phosphatieren, Spritzen, Injektionsreinigen, Ultraschall, Spülen, Passivieren und optionales Trocknen. Das modulare Konzept erlaubt eine exakte Anpassung an die geforderte Sauberkeitsklasse und Produktionsumgebung.

Beide Anlagentypen lassen sich mit einem auf den Produktionsprozess abgestimmter Trocknung ergänzen. So z.B. mit einer Vakuumtrocknung, Umluft/-Heißlufttrocknung mit HEPA- Filter, Abblasen oder Infrarottrocknung. 

 

Technologiezentrum für individuelle Reinigungsprozesse

Im firmeneigenen Technologiecenter von BvL werden kundenspezifische Waschversuche mit Originalbauteilen durchgeführt. Dabei wird das optimale Reinigungs- und Trocknungsverfahren ermittelt, das exakt auf den jeweilige Anwendungsfall abgestimmt ist. So entstehen praxiserprobte Prozesslösungen, die die geforderte hohe Sauberkeit zuverlässig erreichen.  

Nähere Informationen: https://www.bvl-cleaning.com/de/anwendungen/high-purity
 

---

Die BvL Oberflächentechnik GmbH ist einer der größten Anbieter für industrielle Reinigungsanlagen auf wässriger Basis in Deutschland. Als Systempartner bietet BvL individuelle Kundenlösungen an – von der kleinen kompakten Waschanlage über Filtrations- und Automationslösungen bis hin zu komplexen kundenspezifischen Großprojekten mit Prozessüberwachung; immer ergänzt durch zuverlässigen Service. Als Teil eines traditionsreichen Familienunternehmens mit Wurzeln bis ins Jahr 1860 stehen die Eigentümerfamilien in fünfter Generation für technische Exzellenz, Innovationskraft und absolute Verlässlichkeit. Derzeit sind rund 170 Mitarbeiter im Unternehmen tätig. Im Export verfügt BvL über eine starke Marktposition und ein umfassendes Vertriebs- und Servicenetzwerk in 20 Ländern.

 

Kontakt

BvL Oberflächentechnik GmbH
Grenzstr. 16
48488 Emsbüren

Tel.: 05903 951-60
Fax: 05903 951-90
info@bvl-group.de
www.bvl-cleaning.com

Pressetext

Christine Brühöfner
Marketing

Tel.: 05903 951-509
Fax: 05903 951-90
christine.bruehoefner@bvl-group.de