High Purity Reinigung auf Grade 1 und Grade 2 Niveau

BvL Atlantic Tauchreinigungsanlage erfüllt höchste Anforderungen der Halbleiterzulieferindustrie

Emsbüren, Mai 2025 – Im April fanden in unserem hauseigenen Technikum gezielte Probewäschen für die High Purity Branche statt. Das klare Ziel: Eine Reinigung von Bauteilen aus der Halbleiterproduktion – insbesondere solchen, die in ultrahochvakuumtauglichen Umgebungen (UHV) eingesetzt werden – mindestens auf Grade 2-Niveau. Das Ergebnis bestätigt: Die Atlantic Tauchreinigungsanlage der BvL Oberflächentechnik GmbH erfüllt die anspruchsvollen Anforderungen der Halbleiterzulieferindustrie in vollem Umfang.

Zum Einsatz kamen Bauteile aus Titan und Aluminium mit komplexer Geometrie, wie Hinterschneidungen und Kapillaren, somit eine echte Herausforderung für jede Reinigungslösung. Die Atlantic bewältigte diese Aufgabe souverän.

Technisches Konzept und Prozessgestaltung

Die Atlantic verfügt über insgesamt neun Prozessstationen: sieben Reinigungs- und zwei Trocknungsbecken. Damit bietet sie die perfekte Kombination aus Effizienz, Prozesssicherheit und Flexibilität – genau abgestimmt auf die Bedürfnisse von Clean Service Providern (CSP).

Ausgestattet ist die Anlage mit modernster Technik, darunter Ultraschallmodule mit 40 kHz und 75 kHz, HEPA H13-gefilterte Heißluft- und Vakuumtrocknung, Feinstfiltration, kontinuierliche pH- und Leitwertkontrolle sowie frei programmierbare Reinigungsabläufe. Der Reinigungsprozess selbst erfolgte in mit VE-Wasser angesetzten Reinigungsbädern – sowohl alkalisch als auch sauer. Die anschließenden Spülprozesse, entscheidend für High Purity Anwendungen, wurden mit Stadtwasser sowie Reinstwasser (Ultra Pure Water, UPW) durchgeführt.

Das eingesetzte UPW wurde von einer EnviroFALK Reinstwasseraufbereitungsanlage bereitgestellt. Diese ist mit Komponenten wie Partikelfiltration, Enthärtung, Umkehrosmose, UV-Entkeimung, Ionenaustausch, Nano-Ultrafiltration und TOC-Messung ausgestattet. Mit einer Aufbereitungsleistung von 300 l/h wurden ausgezeichnete Wasserwerte erzielt:

Leitwert: 0,06 µS/cm

TOC-Wert: 13,58 ppb

Validierte Ergebnisse im High Purity Bereich

Vor und nach der Reinigung erfolgten erste visuelle Untersuchungen im firmeneigenen Dark Room. Mittels UV- und Bright Light wurden die Bauteile auf Partikel und flecken untersucht. Die Resultate wurden anschließend im Labor bestätigt und dokumentieren die hohe Leistungsfähigkeit des Atlantic-Systems:

Partikelreinheit (PMC) – Ziel: Grade 1

≥ 0,5 μm: 650.000 Partikel/m² (Grenzwert: 2.000.000)

≥ 5,0 μm: 17.000 Partikel/m² (Grenzwert: 20.000)

≥ 10,0 μm: 0 Partikel/m² (Grenzwert: 1.000)

Ausgasungsraten bei Restgasanalyse (RGA) – Ziel: Grade 2

H₂O: 2,71E-4 mbar·l/s

CₓHᵧ v: 2,53E-7 mbar·l/s

CₓHᵧ nv: 2,80E-8 mbar·l/s

Auch die gewünschten atomar-prozentualen Belastungen an HIO-Elementen bzw. die Elemental Surface Contamination können im Reinigungsprozess sicher erreicht werden.

Maßgeschneiderte Reinigung – mit voller Hingabe zum Prozess

Als erfahrener Sondermaschinenbauer bietet die BvL Oberflächentechnik GmbH individuelle Reinigungsanlagen in höchster Qualität. Die Atlantic bspw. ist modular konfigurierbar und lässt sich exakt an Ihre Anforderungen anpassen: von der Wahl der geeigneten Werkstoffe (z. B. HIO-frei) über das Reinigungsverfahren (z. B. Multi-Frequenz-Ultraschall) und Trocknungsverfahren bis hin zur Gestaltung der Becken nach Ihren Bauteilmaßen.

Familienunternehmen mit Tradition und internationaler Präsenz

Seit 1989 entwickelt und baut die BvL Oberflächentechnik GmbH innovative Reinigungssysteme für höchste Ansprüche – Made in Germany. Als familiengeführter Qualitätsanbieter mit Hauptsitz in Emsbüren, nahe der niederländischen Grenze, betreuen wir unsere Kunden weltweit durch ein enges Netz an Service-Niederlassungen. Die Entwicklung und Fertigung erfolgen vollständig in Deutschland – für höchste Qualität, Präzision und Zuverlässigkeit.

 

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